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射频磁控溅射镀膜装置

简要描述:射频磁控溅射镀膜装置 型号:RT-RM-1
主要用途:本设备主要用于大专院校研究和开发纳米级单层膜;如各种硬质膜、金属膜;也可以是非金属、化合物等薄膜材料。可以进行直接溅射,亦可以实现反应溅射。

  • 产品型号:RT-RM-1
  • 厂商性质:其他
  • 更新时间:2025-06-17
  • 访  问  量:960

详细介绍

产地国产加工定制

射频磁控溅射镀膜装置 型号:RT-RM-1

 

主要用途:本设备主要用于大专院校研究和开发纳米级单层膜;如各种硬质膜、金属膜;也可以是非金属、化合物等薄膜材料。可以进行直接溅射,亦可以实现反应溅射。

 

主要特点:结构简捷、操作简便,真空度维护高,安全可靠。

 

镀膜机应安装在干净无尘埃、无腐蚀性气体的室内,并具备清洁水源、及220V的稳定电压等条件的地方。

1、地面的基本水平度要经过调整,不得高低不平;

2、环境温度:10℃~30℃;

3、相对湿度:不大于75%

4、耗水量(进水温度≤25℃,2.5Kg≥水压≥1.5Kg):约0.2T/h

5、水质要求:

矽酸硬度<6度,PH值:78,电导率:200us/cm,沉积率:<200mg/L

6、电压: 220V50HZ

电压波动范围: 198231V

频率波动范围:4951Hz;

7、水压:0.30.1MPa/cm2;1Kg/cm20.03

8、充入气体纯度99.9%;或以上

9、镀膜用耗材纯度99.9%或以上。

 

 

 

设备规格参数

1.1、溅射处理室:

       1、钟罩:内径225mm×高度260mm;

       2、试样台:直径80mm(Z大);

       3、试样旋转:静止;

       4、挡板:手动;

       5、衬底加热器:不锈钢加热器(DC24V);

       6、衬底温度范围:室温~200℃;

       7、衬底可调距离:20mm~60mm;

       8、溅射室限真空:0.5Pa

1.2、真空系统:

       1、抽气系统:由机械泵组成的一级真空系统;抽气速率:4升/S

       2、真空检测:电阻真空计、电阻规;

       3、常用真空度:1~20Pa

       4、操作:手动

1.3、溅射电源:

1、射频电源:频率13.560MHZ,功率:500W,用表指示;

2、阻抗匹配器范围:(2.7~45)Ω-j(0~70)Ω; 

3、供电:AC 220V;

4、冷却方式:风冷;

  1.4、 磁控靶:

1、靶材直径:Ф50mm、 一个永磁靶;

2、靶材厚度:3~6mm;

1.5、进气系统:2路转子流量计进气,

1.6、电源要求:AC 220V  50Hz  10A

1.7、气体要求:氩气--纯度99.9%(样品有特殊要求时使用高纯)

1.8、冷却要求:靶体水冷,溅射电源风冷

 

射频磁控溅射镀膜装置 型号:RT-RM-1

 

 

 

 

产品名称:锂电保护板测试仪,锂电保护板检测仪
产品型号:TDSPT-0819 

锂电保护板测试仪,锂电保护板检测仪 型号:TDSPT-0819 
特点:   
1. 功能全面,各项性能指标检测充分。   
2. 同机可实现单节 双节保护板(3.6V/7.2V)选择测试。   
3. 测试一触即发,无需按键启动,速度快,效率高。   
4. 技术先进,质量过硬。   

测试范围:   
1)过充保护电压: 4.150~4.500V ±1mV   
2)过充保护恢复电压: 4.200~3.800V ±1mV   
3)过放保护电压: 3.200~2.000V ±1mV   
4)过放保护恢复电压: 2.500~3.500V ±1mV   
5)过电流: 0~10.00A ±0.1A   
6)静态电流: 0.0~100.0uA ±0.1uA   
6)内阻: 0~200 mΩ ±1mΩ   
7)识别电阻: 0.1~999.9KΩ ±0.1KΩ (10KΩ 以内)   
8)过充保护延时时间: 0~5000mS ±1mS (1mS=0.001秒)   
9)过放保护延时时间:: 0~1000mS ±1mS   
10)过电流保护延时时间: 0~100mS ±1mS 

 

 

 

 

产品名称:水套式二氧化碳培养箱
产品型号:Thermo Fisher 3111


水套式二氧化碳培养箱 型号 Thermo Fisher 3111 
1、工作环境温度: 10-35℃; 
2、工作环境湿度: 20- 80%; 
3、电源: 220V ± 10% ,50 Hz/60 Hz; 
4、工作体积:184.1升;  
5、标配搁板数目/多可选装搁板数:4块/23块; 
6、温度控制范围:高于室温5℃~55℃  
7、温度控制精度:±0.1℃ 
8、温度均一性: ±0.2℃(在37℃下)  
9、报警:断电,温度差异、CO2浓度差异、(选配O2浓度差异、湿度差异)  
*10、箱体构造:水套式  
11、二氧化碳控制范围:0~20%  
12、二氧化碳控制精度:±0.1%  
13、二氧化碳浓度控制:TC 热导传感器。 
*14、具有的HEPA高效过滤系统在关门5分钟内使腔体达到100级洁净指标,每隔1分钟腔体内空气自动过滤循环一次。

 

 

 

 

产品名称:可见分光光度计
产品型号:7220

一、技术参数:(液晶显示)(Rs232接口,可选配打印机)

1、波长范围:340-1000nm
2、波长准确度:±2nm
3、波长重复性:<1nm
4、光谱带宽:5nm
5、杂散光:≤0.5%(T)(在360nm处)
6、透射比测量范围:0-(T)
7、吸光度测量范围:0-1.999(A)
8、浓度直读范围:0-1999
9、读数精度:透射比准确度:≤1%(T)
       吸光度精度:≤±0.004A(在0.5A处)
10、透射比重复性:<0.5%(T)
11、光源:6V/1OW(长寿命卤钨灯)
12、色散元件:平面光栅,1200条线/mm
13、接收元件:硅光电池

14、仪器重量:13㎏(含包装)

 

 

 

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